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CMP晶圓夾持環 (CMP Retainer Ring)
Material: PPS & SUS304
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CMP 研磨墊 (CMP Pad) (Ø55.2*φ9.8*T11mm)
Material: 優力膠 ( Polyurethane)
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晶圓載具 Wafer Holder (262*23*T10mm)
Material: Peek
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